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FD-9B晶圆双面研磨机硬脆材料的双面高精度研磨抛光
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招商分类：广东机械及工业制品 > 深圳机床
发布企业：深圳市方达研磨技术有限公司
发布 IP：119.122.*.*
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FD-9B晶圆双面研磨机
主要用途：
该双面研磨机主要用于石英晶体、硅片、砷化镓片、陶瓷片、光电玻璃及其他硬脆材料的双面高精度研磨、抛光。
工作原理：
2．本系列研磨机为超高精密研磨设备，上、下研磨盘作相反方向转动，工件在载体内作既公转又自转的游星运动。磨削阻力小不损伤工件，而且两面均匀磨削生产效率高。
2．本系列研磨机修整机构采用油压悬浮导轨前后往复运动，金刚石修面刀给研磨盘的研磨面进行平面修整。
特 点
1． 本系列研磨机的上、下研磨盘可进行自动修盘。
2． 采用四个电机同步拖动，变速范围更广，运动精度更高，响应速度更快，能适应不同研磨材料及研磨工艺的要求，实现了软启动、软停止，调速稳定，冲击小。
3． 修面机采用伺服马达驱动，能确保油压悬浮导轨滑动更加平稳，得到的平面修整效果非好。
4． 控制系统中采用DSP、Web-Link、彩色终端等先进技术，系统的响应速度更快、更精确，并具有远程监控，远程维护功能；
5． 本系列研磨机有光栅厚度控制系统，加工后的产品厚度公差可控制在±0.002mm范围内。
技术参数：
|
型 号 |
FD--9B |
|
研磨盘规格： |
φ635×φ240×12t |
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最大加工工件尺寸 |
φ200mm |
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工件平面度（25mm） |
±0.2u以内 |
|
工件平行度（25mm） |
±0.4u以内 |
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工件粗糙度（石英材料） |
0.4nm以内 |
|
研磨盘修面后平行度 |
±2u以内 |
|
游轮规格 |
φ230mm |
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游轮数量 |
5 枚 |
|
下研磨盘转速 |
0~140rpm |
|
下研磨盘电机功率 |
2.2kw 3相380V |
|
上研磨盘研磨转速 |
0~60rpm |
|
上研磨盘电机功率 |
1.5kw 3相380V |
|
上研磨盘修面转速 |
0~140rpm |
|
上研磨盘修面电机功率 |
0.75kw 3相380V |
|
太阳轮转速 |
0~60rpm |
|
太阳轮电机功率 |
0.75kw 3相380V |
|
外齿轮转速 |
0~30rpm |
|
外齿轮电机功率 |
0.75kw 3相380V |
|
修面机速度 |
200mm/分钟 |
|
修面机伺服马达功率 |
750w |
|
外形尺寸： |
1200×16150×2400mm |
|
重量： |
2300kg |
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- 广东 深圳
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